1. 真空等离子清洗机可防止用户湿洗产生对人体有害的气体，并避免洗坏东西。

2. 清洗对象经等离子清洗后干燥，无需进一步干燥处理即可送至下一道工序，可达到整个生产线的加工效率;

3. 等离子清洗可大大提高清洗效率。整个清洗过程可在几分钟内完成，因此具有产率高的特点;

4. 采用等离子清洗，避免清洗液的运输、储存、排放等处理措施，使生产现场保持清洁卫生;

5. 在完成清洗去污后，还要改善材料本身的表面性能。例如，在许多应用中提高表面的润湿性和膜的附着力是非常重要的。

6. 等离子清洗可以不管治疗对象,它可以处理各种材料、金属、半导体、氧化物、或高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂和其他高分子)可以用来处理等离子体。因此，它特别适用于不耐热或不耐溶剂的材料。

  此外，还可以对材料的整体、局部或复杂结构进行选择性清洗。