真空阴极电弧离子镀工作原理
文章作者:广东尊龙凯时
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发布时间:2023-08-17
当阴极受到大量高速正离子轰击而被加热到高温时,因阴极产生显著的热电子发射,从而使等离子体放电中的阴极位降降低,放电电流增大。该阴极位降只需保持阴极区能量(即电流与阴极位降的乘积),即足以使阴极维持电子热发射所需要的温度,就可维持弧光放电。
在阴极电弧放电中,只有那些温度最高、电场最强或逸出功最低的微小区域才发射电子。因此,人们可看到真空电弧在阴极表面有一圈圈闪动的耀眼辉光,它是由一个或数个不连续很小且极亮的辉光斑点 (称为阴极辉点或阴极斑点) 的生成一熄灭、再移位生成一再熄灭的一系列快速过程的弧斑轨迹而形成的一系列的电弧过程 。
由于阴极材料的大量蒸发,蒸发处留下一灼坑,该处尖端消失,且因其正离子空间电荷层被冲散,所以场强下降,不能引发弧光放电。由于放电电流的降低,导致鞘层位降升高必然在另外一处,即逸出功低或尖端处引发新的弧放电。随着正离子鞘层的不断冲散,阴极灼坑和阴极辉点会不断地变动位置,该变动完全是随机的。