真空的获得又被称为“抽真空”,它是指采用不同的真空泵把容器内的空气抽走,使得这个空间内的压强降到一个大气压以下。当前,为得到真空而常用的装置包括旋片式机械真空泵、罗茨泵、油扩散泵、复合分子泵、分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵和低温泵等。在这些泵中,前四种泵归类为气体传输泵(传输式真空泵),是指将气体分子不断地吸人真空泵中,并排到外界环境,而实现抽真空;后四种泵归类为气体捕获泵(捕获式真空泵),是在泵腔的内壁上进行分子凝结或化学键合,从而获得所需要的真空。气体捕获泵因其不以油为工作介质,所以也被称作无油类真空泵。与那些永久性地移走气体的传输式真空泵不同,有些捕获式真空泵是可逆式的,可以在加热过程中将被收集到的或凝结的气体排回到系统。

    传输式真空泵分为容积式和动量传输式两大类。容积式传输泵通常包括旋片式机械泵、液环泵、往复泵和罗茨泵;动量传输式真空泵通常包括分子泵、喷射泵、油扩散泵。捕获式真空泵通常包括低温吸附和溅射离子泵等。

    一般情况下,采用的镀膜工艺不同,其所用真空镀膜室的真空度应达到不同的水平,而在真空技术中,多以本底真空度(也被称为本征真空度)来表示其水平。本底真空度是指通过真空泵将真空镀膜室的真空度抽至满足镀膜工艺需要的最高真空度,而这个真空度的大小,主要依赖于真空泵的抽真空能力。真空镀膜室被其真空系统抽真空所能达到的最高真空度称为极限真空度(或极限压强)。表1-2中列出了一些常见真空泵的工作压强范围及可以得到的极限压强。表格中用阴影住的部分代表了每个真空泵在与其他设备结合使用时可以得到的压强。

——本文由真空镀膜设备厂家振华真空发布