实验型镀膜设备主要用于各大院校及科研单位，可满足多种实验要求；预留多种结构靶位，灵活配置，以满足不同领域的科研开发。可选配磁控溅射系统、阴极电弧系统、电子束蒸发系统、电阻蒸发系统、CVD、PECVD、离子源、偏压系统、加热系统、三维夹具等，客户可根据自身不同需求选配。
